超臨界萃取法是以超臨界流體(Supercritical fluid, SCF)作為溶劑萃取，
將萃取物(例如精油)從基質(芳香植物)萃取分離而出，也是屬於溶劑萃取法之一。
目前常用於食品工業(例如脫脂、去除咖啡因等)、醫藥工業(維生素分離精製)
與化妝品工業(即精油萃取)。
最常應用的超臨界流體，則是二氧化碳(CO2)，
優點無色、無味、無毒、不燃燒、對大部分物質不反應、氣體成本低；
相較於常見的蒸餾與溶劑萃取方式，則有溫度低、無溶劑殘留等優點。
常見二氧化碳萃取精油有生薑、乳香、金盞花精油等，由於成分較為豐富，
氣味與一般蒸餾萃取則有所不同。